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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 FE-1050系列

儀器名稱(chēng):場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 FE-1050系列

儀器型號(hào):FE-1050系列

制  造  商:納克微束

原  產(chǎn)  地:中國(guó)北京

聯(lián)系電話(huà):010-67802360

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技術(shù)規(guī)格

型號(hào)FE-1050系列
1.電子光學(xué)系統(tǒng)
電子槍Schottky 場(chǎng)發(fā)射型
物鏡類(lèi)型非浸沒(méi)電磁復(fù)合透鏡
加速電壓0.02-30KV
束斑電流10pA 至 30nA(100nA 選配)
放大倍數(shù)10x - 1,000, 000x
分辨率SE1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)
BSE(選配)2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)
STEM0.8nm(30KV)
2.真空系統(tǒng)
離子泵(IGP)25 L/s+2X20L/s
渦輪分子泵(TMP)250 L/s (N2)
前級(jí)真空泵15m3/h 機(jī)械泵、無(wú)油渦旋機(jī)械泵(選配)
電子槍真空<1.0x10-7 Pa
主樣品室極限真空<1.0x10-4 Pa
樣品室接口數(shù)27 個(gè)
預(yù)抽室50mm 樣品托盤(pán)自動(dòng)送樣
4/6 英寸晶圓自動(dòng)送樣(選配)
預(yù)抽室光學(xué)導(dǎo)航
3.樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
樣品臺(tái)行程X140mm
Y140mm
Z60mm
R連續(xù) 360°
T-10°~80°
重復(fù)定位精度X/Y/Z≤1um(選配)
樣品最大承重5kg
4.圖像處理系統(tǒng)
最小駐留時(shí)間20ns
采集方式4 通道同步采集
最大圖像分辨率24kx24k 像素
5.數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
CPUIntel Xeon E5 及以上處理器
內(nèi)存32G
顯卡顯存≥24G,位寬≥384bit
顯示器34 英寸超寬屏顯示器
控制臺(tái)人體工程學(xué)可升降操控臺(tái)
6.探測(cè)器系統(tǒng)
檢測(cè)器In-Column SE 探測(cè)器
ET- SE 探測(cè)器
插入式 BSE 探測(cè)器(選配)
STEM 探測(cè)器(選配)
紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路
附件(選配)斜插式能譜儀(EDS)
平插式能譜儀(Flat-EDS)
波譜儀(WDS)
電子背散射衍射儀(EBSD)
陰極熒光探測(cè)器(CL)
聚焦離子束(FIB)
原位拉伸加熱臺(tái)/制冷臺(tái)
冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉(cāng)等第三方附件設(shè)備

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FE-1050系列高分辨(場(chǎng)發(fā)射)掃描電鏡,配備新一代電子光學(xué)鏡筒,具備優(yōu)越電子光學(xué)性能,重點(diǎn)優(yōu)化了低電壓下高分辨力,實(shí)現(xiàn)1.5nm(1kV),
可以輕松觀測(cè)易受電子輻照損傷的樣品。

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